8吋廠：

• 2021年單位代工晶圓產品有害廢棄物產生量為0.0050 Kg/cm²，較2020年減少11.61%。
• 2021年整體廢棄物回收率為93.51%，較2020年增加1.06%。
• 2021年整體資源廢棄物回收費用為NT$1,897,657，較2020年增加42.93%。
• 2021年整體廢棄物產生量為4,703 Ton (不含資源回收量)，較2020年減少1.71%。

12吋廠：

• 2021年單位代工晶圓產品有害廢棄物產生量為0.0049 Kg/cm²，較2020年增加0.02%。
• 2021年整體廢棄物回收率為90.41%，較2020年增加2.65%。
• 2021年整體資源廢棄物回收費用為NT$12,140,103，較2020年增加15.68%。
• 2021年整體廢棄物產生量為13,085 Ton (不含資源回收量)，較2020年增加5.55%。